山东首条！有研艾斯12英寸集成电路用大硅片生产线在德州天衢新区正式通线

齐鲁网·闪电新闻10月16日讯 10月16日，山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目在德州天衢新区正式通线，项目一期投资25亿元，达产后可实现12英寸抛光片月产10万片，这也是山东省内第一条12英寸集成电路用大硅片生产线。

12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右。随着集成电路制程和工艺的发展，硅片趋向大尺寸化和制程精细化，12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。

“我们能看到的硅片都是圆的，但是我们能看到的集成块都是长方形的或者是正方形的，最后集成块要从硅片里边一个一个做出来，也就意味着硅片最边缘的这一圈是用不了的，是废掉的。所以在这个情况之下，硅片的直径越大，可利用面积的比例就越高。对于每一个集成块来说，它的成本就会越低。”山东有研艾斯半导体材料有限公司总经理闫志瑞告诉记者。

大尺寸硅材料是集成电路的基础材料，也是我国集成电路产业链上的薄弱环节。12英寸硅片技术参数要求比8英寸更高，其中单晶工艺是最为核心的技术。山东有研艾斯攻克了单晶微缺陷、硅片几何尺寸等关键技术指标，实现通线，这对填补山东省集成电路用大尺寸硅片空白、完善全省集成电路产业格局、补齐山东新材料体系短板有重大意义。

“首先说硅材料是信息产业，特别是具体的集成电路当中一个最重要的功能材料，我们也叫关键材料，12英寸的这个硅片是代表了产业的最高端的应用。批量投产标志着我们项目走到了全国的前列。随着未来的不断扩容，特别是信息产业的发展，我相信德州这个地方一定是硅材料一个最重要的基地之一。”中国有研科技集团有限公司党委委员、副总经理周旗钢介绍说。

目前，德州天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”，打造了占地800多亩，总投资93.4亿元的中国集成电路关键材料（德州）基地，包括8英寸硅片、12英寸硅片、高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅材料等七个项目。将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地，使山东省跻身硅材料产业国内第一方阵、靶材产业遥遥领先。

闪电新闻记者 刘佳 德州台 王一 王浩 报道

[责任编辑：刘佳 刘向阳 穆楠 崔维莉]

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